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氮化硅的加工方法

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氮化硅的加工方法

发布日期:2020-07-13 作者: 点击:

作为粒状材料,氮化硅粉很难加工——无法加热到其熔点1850℃以上,因为超过这个熔点,氮化硅就会分解为硅和氮。因此,传统的热压烧结技术存在一些问题。氮化硅粉的结合可以通过加入其他物质如烧结助剂或粘合剂来诱导,从而在低温下进行一定程度的液相烧结并粘结成块。但是,由于需要添加粘合剂或助烧结剂,这种方法会将杂质引入到所生产的散料中。放电等离子烧结是制备更纯净的大块材料的另一种方法,在极短的时间内(在几秒钟内)用电流脉冲压实粉末,在1500 ~ 1700℃下形成致密致密的氮化硅块。

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