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氮化硅的加工方法

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氮化硅的加工方法

发布日期:2020-03-06 作者: 点击:

作为粒状材料的氮化硅粉是很难加工的——不能把它加热到它的熔点1850°C以上,因为超过这个温度氮化硅发生分解成硅和氮气。因此用传统的热压烧结技术是有问题的。把氮化硅粉末粘合起来可通过添加一些其他物质比如烧结助剂或粘合剂诱导氮化硅在较低的温度下发生一定程度的液相烧结后粘合成块状材料。[16]但由于需要添加粘合剂或烧结助剂,所以这种方法会在制出的块状材料中引入杂质。使用放电等离子烧结是另一种可以制备更纯净大块材料的方法,对压实的粉末在非常短的时间内(几秒中)进行电流脉冲,用这种方法能在1500-1700°C的温度下得到紧实致密的氮化硅块状物。

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